Elektronik & Halbleiter
Reinstwasser für die Waferfertigung, Chipreinigung und Mikroelektronikherstellung
Die Halbleiterfertigung erfordert Reinstwasser (UPW) mit nahezu null Verunreinigungen.
Mit Water entwickelt UPW-Systeme mit RO, EDI, UV-Oxidation, Membranentgasung und Polishing-Mischbetten. Unsere Lösungen liefern die konstanten 18,2 MΩ·cm spezifischen Widerstand und TOC-Werte im Sub-ppb-Bereich, die für die fortschrittliche Halbleiterfertigung erforderlich sind.